4.2　工艺用气制备、储存

4.2.1　工艺用气来源应根据用量、压力要求及经济原则选择外购或现场制备。外购和现场制备气体应满足气体质量指标要求；工艺用气制备能力应符合生产需求。

4.2.2　采用外购工艺用气时，其储存可采用液体储罐、高压气瓶方式。

4.2.3　采用现场制备工艺用气时，氮气、氧气、二氧化碳可采用膜分离法、变压吸附法、蒸发法制备或气瓶汇流排提供。采用压缩空气制备其他气体时，应保证气源供应的稳定性。

4.2.4　工艺用气现场制备后，应配备工艺用气缓冲罐，其容积应根据使用情况和生产负荷确定，并应满足系统异常时的用气要求。

4.2.5　工艺用气制备与储存设施应设置安全泄放装置。