四、层熔法[14]
如图2-20(d),这个方法也是区熔方法的变形。在坩埚中的初始材料中不加溶质,在上端由感应加热产生一定深度的熔化层,由溶质添加器加入k0<1的溶质。在晶体生长的同时,熔化层向下移动。为了保持熔化层深度不变,生长速度v1和熔化层移动速度v2必须满足下面的关系:
其中v1为提拉速率,v2为感应线圈移动速率,R1为晶体直径,R2为坩埚直径。
在一定工艺条件下,按一定的方式添加溶质,就能得到浓度均匀的晶体。
参考文献
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