第2章 微机电系统的工作原理

2.1 基本工作原理分析

我们知道，MEMS中核心元件包括：传感或执行元件，信号传输单元。其中信号传输单元属于微电路范畴，其原理、构成、功能与传统的微电子电路是一致的。本章主要介绍用于传感和执行元件的主要工作机理分析，主要包括：电容效应、压阻效应、压电效应、静电效应、热力效应，以及形状记忆合金效应。