更新时间：2018-12-28 18:41:12
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前言
第1章 微机电系统概论
1.1 微机电系统的基本概念和特点
1.2 微机电系统的起源
1.3 微机电系统的国内外现状
1.3.1 国外的发展现状
1.3.2 国内的发展现状
1.4 微机电系统的应用及展望
1.4.1 微机电系统在国防中的应用
1.4.2 微机电系统在汽车工业中的应用
1.4.3 微机电系统在生物医学中的应用
1.4.4 微机电系统在其他工业中的应用及展望
第2章 微机电系统的工作原理
2.1 基本工作原理分析
2.1.1 电容效应
2.1.2 压阻效应
2.1.3 压电效应
2.1.4 静电效应
2.1.5 热力效应
2.1.6 形状记忆合金效应
2.2 微传感器
2.3 微执行器
第3章 用于微机电系统的材料
3.1 硅及其化合物
3.1.1 硅
3.1.2 硅化合物
3.2 陶瓷
3.3 聚合物
3.4 金属
3.5 凝胶
3.6 电流变体
第4章 微机电系统的相关制造技术
4.1 传统超精密和特种微细加工技术
4.1.1 超精密微加工技术
4.1.2 微细特种技工技术
4.2 硅微机械加工技术
4.2.1 微机电系统中常用的IC工艺
4.2.2 表面微加工技术
4.2.3 体微加工技术
4.3 键合技术
4.4 LIGA技术
4.4.1 LIGA技术基本原理和工艺步骤
4.4.2 LIGA技术的特点
4.4.3 准LIGA技术
4.4.4 LIGA和准LIGA技术的应用
第5章 微机电系统的设计和建模
5.1 微机电系统设计的类型和任务
5.1.1 微机电系统设计类型
5.1.2 微机电系统设计任务
5.2 微机电系统的设计原则、方法和流程
5.2.1 微机电系统设计原则
5.2.2 微机电系统设计方法
5.2.3 设计流程
5.3 微机电系统的建模
5.3.1 MEMS建模的概念、目的和要求
5.3.2 MEMS建模的级别
5.3.3 宏模型
5.3.4 MEMS的功能元件和结构元件
5.4 微加工工艺设计和仿真
5.4.1 微加工工艺设计
5.4.2 微加工工艺仿真
5.5 微电子机械系统的计算机辅助设计技术
5.5.1 MEMS CAD设计原则
5.5.2 MEMS CAD结构体系
5.5.3 MEMS CAD工具
5.5.4 MEMS CAD的特点
5.6 设计例子
5.6.1 MEMS分级别建模例子
5.6.2 MEMS CAD例子
第6章 微机电系统设计中的工程力学和尺度效应
6.1 应力和应变
6.1.1 应力和应变的定义
6.1.2 应力—应变的一般关系
6.2 梁的弯曲应力
6.2.1 梁的类型
6.2.2 纯弯曲下的纵向应变
6.2.3 梁的弹性形变常数
6.2.4 梁的扭曲变形
6.3 薄板的静力弯曲
6.4 薄膜力学
6.5 机械振动
6.5.1 基本公式
6.5.2 共振和品质因数
6.5.3 阻尼系数
6.6 断裂力学
6.6.1 应力强度因子
6.6.2 断裂韧度
6.6.3 界面断裂力学
6.7 热力学
6.7.1 热应力
6.7.2 材料机械强度的热效应
6.7.3 蠕变
6.8 流体力学
6.9 微机电系统的尺度效应
6.9.1 微摩擦基础
6.9.2 热学的尺度效应
6.9.3 微流体的尺度效应
6.9.4 微执行器的尺度效应
