1.4 微机电系统的应用及展望

MEMS的应用主要集中在三个方向：微传感器（micro⁃sensors），微执行器（micro⁃actuators）和微系统（micro⁃systems）。

MEMS的快速发展只不过10多年的时间，却已在各个应用领域显示出强大的生命力，甚至单个种类的MEMS器件就形成了一个较大规模的产业。面向21世纪，MEMS将逐步走向实用化，并被广泛应用于国防、航空、航天、通信、环保、生物工程、医疗、制造业、农业和家庭。在某种意义上，可认为MEMS是“信息化带动工业化”的一个典范。例如，作为信息获取关键的多种传感MEMS，已成功应用于汽车、电子等行业和军事领域；以其微型化的优势，在许多场合替代了传统的传感器，并促成许多新产品的诞生；在令人瞩目的信息技术和生命技术的发展中，MEMS更将发挥不可估量的作用：光MEMS被认为是开启全光通信之门的钥匙；RF MEMS将成为移动通信的一项核心技术；高密度MEMS生物芯片将强有力地推动生命科学和生物技术的发展。近几年，采用MEMS技术的微/纳卫星、微型飞行器和进入狭窄空间的微型机器人，也展示了诱人的应用前景。MEMS的发展将对人类生产和生活方式产生革命性的影响，成为关系到国民经济发展和国家安全保障的战略高技术，已引起了广泛的关注。