更新时间：2021-04-22 19:29:15
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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前 言
1 总 则
2 术 语
3 基本规定
4 工 艺
4.1 一般规定
4.2 基本工序
4.3 工艺区划
4.4 设备配置
5 厂址选择及总体规划
5.1 厂址选择
5.2 总体规划
6 建 筑
6.1 一般规定
6.2 防火及安全疏散
7 结 构
7.1 一般规定
7.2 厂房结构设计
7.3 微振动控制标准
7.4 微振动控制设计及测试
7.5 基座平台设计
8 气体动力
8.1 冷、热 源
8.2 大宗气体供应
8.3 特种气体供应
8.4 压缩空气供应
8.5 工艺真空和清扫真空
9 供暖、通风、空气调节与净化
9.1 一般规定
9.2 采暖、通风与废气处理
9.3 空气调节与净化
9.4 防 排 烟
10 给水排水
10.1 一般规定
10.2 一般给水排水
10.3 纯 水
10.4 工艺冷却循环水
10.5 废 水
10.6 消防给水及灭火设施
11 电 气
11.1 供配电与照明
11.2 防雷与接地
11.3 火灾报警及消防联动
11.4 通信及自控
12 防 静 电
12.1 一般规定
12.2 防静电措施
12.3 防静电接地
13 化 学 品
13.1 一般规定
13.2 化学品储存和配送
13.3 管材、阀门
13.4 化学品废液收集回收
14 空间管理
14.1 一般规定
14.2 管线布置
14.3 共用管道支、吊架
附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
附录B 微振动标准VC曲线
本规范用词说明
引用标准名录
条文说明
制订说明
