1.3 光学声传感器的MEMS制备工艺

根据1.2节中对不同类型光学声传感器研究现状的分析和讨论可以得出微小型化光学声传感器是面向原位、集成传感应用的亟需器件的结论。微小型化的核心是MEMS制备工艺，其中主要涉及的声敏感结构为微结构光纤光栅、光纤干涉仪和微谐振腔等。本节将主要围绕上述三种结构展开MEMS制备工艺介绍。