1.1 永磁同步直线电机特点

在高端制造装备中应用的精密直线电机中，永磁同步直线电机（Permanent Magnet Synchronous Linear Motor，PMSLM）是最具代表性的。永磁同步直线电机是由对应的永磁旋转同步电机演变而来[3，4]，具体过程如图1-2所示，将永磁旋转同步电机沿径向切开然后沿周向展开拉平，即可演变为永磁直线同步电机。对于永磁旋转同步电机，通常电枢侧被称之为定子，永磁侧被称之为转子。而在PMSLM中，通常电枢侧被称之为初级，永磁侧被称之为次级。根据运动部件的不同，又可以分别称之为动子和定子，既可以将初级（电枢侧），也可以将次级（永磁侧）用作动子，相应地另一侧用作定子。当PMSLM三相绕组施加对称的正弦波电流激励时，气隙中产生行波磁场，沿水平方向移动。电枢绕组产生的行波磁场与永磁体励磁产生的磁场相互作用，导致电机产生水平方向的推力。

图1-2 旋转电机与直线电机示意图