1.3　本书的研究内容

具有较好动态性能的气浮轴承，是超精密制造技术发展的必然需求。为了探索气浮轴承的动态特性，本书开展了三个方面的工作。

（1）针对平面静压气浮轴承的垂直方向微冲击振动问题，分析了轴承受到垂直方向冲击后的稳定特性。

（2）针对平面静压气浮轴承在受到外界周期性振动源的扰动问题，分析了频域内轴承的动态刚度和阻尼系数，并且分析了均压槽对动态刚度和阻尼系数的影响。

（3）针对平面静压气浮轴承在加速往复运动过程中的倾斜振动问题，分析了满足和不满足阿贝原理时平面静压气浮轴承的倾斜振动过程，并且分析了不同速度、加速度对倾斜振动的影响。

（4）本书针对具有三级密封结构的圆形平面静压真空气浮轴承的密封问题，提出了微元环概念，建立了一维密封分析理论，分析了轴承的各种结构尺寸、泵的参数对轴承极限真空的影响。

（5）本书针对具有多孔节流、均压槽节流的真空气浮轴承，建立了二维分析模型，分析了轴承承载区域压强的二维分布，且通过实验，验证了该理论的正确性；此外，通过二维分析模型，分析了实验过程中气膜厚度以及轴承的刚度。