真空电子器件生产线设备安装技术标准
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1 总  则

1.0.1 为规范真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收,保证工程质量,制定本标准。

1.0.2 本标准适用于真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收。

1.0.3 真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准的规定。