1.0.1 为规范真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收,保证工程质量,制定本标准。
1.0.2 本标准适用于真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收。
1.0.3 真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准的规定。