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4.15 镀 涂
4.15.1 镀涂工艺应通过镀涂设备,在多层共烧陶瓷基板金属化表面进行镀镍、镀金处理,提高表面金属化的可焊性、可键合性、耐腐蚀性及导电性。
4.15.2 镀涂工艺应符合下列规定:
1 应按照一定的配比,配置碱性去油剂、酸性去油剂、氨水、化学镀触发液、活化液、镀镍溶液和镀金溶液;
2 应将基板固定在镀涂夹具上;
3 应使用碱性或酸性去油剂,或使用氨水清洗基板,去除表面沾污,并应用纯水冲洗干净;
4 应通过活化处理以去除金属化表面的氧化层,之后应用去离子水冲洗;
5 化学镀工艺时,应对基板进行触发处理;
6 电镀镍或电镀金工艺时,应设定电镀镍溶液或电镀金溶液温度、电流密度、镀覆时间进行,之后用纯水冲洗;
7 化学镀镍或化学镀金工艺时,应设定化学镀镍溶液或化学镀金溶液温度、镀覆时间进行,之后用纯水冲洗;
8 应将镀涂后的基板退火。