9.3　空气调节与净化

9.3.1　净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组的设置应符合下列规定：

1　送风机应采取自动调速措施；

2　空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；

3　新风处理机组应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%。

9.3.2　光刻间净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，其他洁净室净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。

9.3.3　金属有机化合物化学气相沉积间的净化空气调节系统应独立设置。

9.3.4　循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。

9.3.5　循环空气处理机组的风机应采取自动调速措施。

9.3.6　空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用。

9.3.7　洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

9.3.8　净化空气调节系统的新风吸入口位置，应远离排放有害物或可燃物的排气口。

9.3.9　洁净室的噪声控制设计的噪声级（空态）应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，但当洁净室采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理循环空气时，单向流和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于70d B（A），非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。