第966章 技术难题包干到人

BSEC换到了KrF准分子激光器和800nm制程工艺的专利技术，还不能生产1um制程工艺的光刻机。

晶圆上面还有5英寸、6英寸和8英寸，制程工艺还有1um、800nm、500nm和350nm，任...