第1118章 浸没式光刻系统遇到难题

800nm制程工艺的专利技术对于GCA来说如同鸡肋，但对于BSEC如同神助，掌握后就能跨越1um制程工艺，拥有800nm制程工艺技术。

拥有了193nm的ArFi准分子激光器的制造技术和800n...