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第98章 450mm晶圆片的价格
对于拉晶炉,首先……要对副室进行充气,这里冲的是氩气,氩气是惰性气体,很难参加反应。
拍出副室里边的空气,然后对于其他的地方清理干净,比如副室炉筒、小副室、炉筒等等。
工人穿戴好防护服把坩...
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