第98章 450mm晶圆片的价格

对于拉晶炉,首先……要对副室进行充气,这里冲的是氩气,氩气是惰性气体,很难参加反应。

拍出副室里边的空气,然后对于其他的地方清理干净,比如副室炉筒、小副室、炉筒等等。

工人穿戴好防护服把坩...