晶体生长的物理基础
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一、旋转圆盘下流体的速度场

旋转圆盘下的传输问题,是一个典型的强迫对流下的混合传输问题。由于强迫对流的流体动力学方程(3-1)式中不包含未知函数Tr)和Cr),因而不需和热传输方程(1-25)式、质量传输方程(2-7)式联立求解。可以先由(3-1)、(3-3)式结合边值条件求得速度场,再将求得的速度场代入传输方程(1-25)、(2-7),求得温场和浓度场。故我们先求解旋转圆盘下的速度场(velocity field of flow under rotating desk)。

旋转圆盘下的流动问题,曾先后由冯卡曼(Von Karman)[20]和科克伦(Cochran)[21]解决。从后者所得流体动力学方程的准确解,可以得知流体运动的图像。圆盘以等角速度绕垂直于该平面的轴旋转,由于黏滞力的作用,圆盘附近的流体被带着转动,其角速度越靠近圆盘越大,直至和圆盘本身的角速度相等。这些转动着的流体在离心力作用下被甩出去,下部的流体沿轴流近圆盘以填补空隙,这些流体又依次被甩出去。

旋转圆盘附近的液流问题,不仅对直拉法晶体生长是重要的,就是对流体动力学本身也有着特别意义。因为它是完全的流体动力学方程组能有准确解的少数例子之一。所谓准确解,指的是能从该解得出黏滞流体全部体积中的速度分布。

由于这个问题具有旋转对称性而不是圆柱对称性,故不能简化为二维问题。但采用柱坐标(r,φ,z)则较为方便,这是由于旋转对称性,导致所有对φ的导数全部消失。

在强迫对流的流体动力学方程(3-1)式中,由于重力可表示为势函数的梯度,因此可和(3-1)式中的压力梯度合并而引入约化压力(参阅第七节之一),于是(3-1)式简化为

我们考虑的是稳态速度场,故;假设压力只是由重力而产生的,即压力只是z的函数;同时由于具有旋转对称性,所有关于φ的导数全部为零。于是将上面的流体动力学方程的矢量形式写为柱坐标下的标量形式,并根据上述假设加以简化,于是有

而连续性方程(3-3)式的标量形式为

其中vrvφvz为径向、切向、轴向速度分量。

在圆盘表面满足的边值条件是

z=0, vr=0, vφ=rω, vz=0

式中ω是圆盘旋转的角速度。切向速度分量的边值条件表明,在盘面上的流体和圆盘一起转动。盘的旋转带动了流体,使盘面邻近出现相当大的径向速度。为保证向盘面供应流体,在远离圆盘处,应该存在不变的垂直向上的液流。因此在无穷远处的边值条件为

z→∞, vr=0, vφ=0, vz=-U0

U0值可从问题的解的本身求得。负号表示液流速度指向圆盘,其方向与z轴相反。

按冯卡曼的方法[20],我们引入新参量ξ,定义,此为无量纲距离。我们用无量纲距离代替z,并引入无量纲函数

将无量纲参量ξ和无量纲函数F,G,H,P代入式(3-59),可将偏微分方程转换为常微分方程

同样,边值条件变换为

其中待定。

根据远离圆盘处及圆盘表面上的边值条件,可以写出函数F,G,H满足上述方程及其边值条件的展开式。在ξ很大时,该展开式(渐近展开式)的性质可以从H的边值条件中得到启示。因为当ξ→∞时,H→-α,而此时F,G很小,为一微量。所以在方程(3-61)中可以略去二阶微量,近似地写为

ξ→∞  -F′α≈F″

积分这一方程,我们得到F的渐近表达式

ξ→∞  F≈exp(-αξ

同样,在ξ→∞时,方程(3-62)近似地表示为

ξ→∞  -G′α≈G

由此得G的渐近表达式

ξ→∞  G≈exp(-αξ

因此F,G,H的渐近展开式应按exp(-αξ)的乘幂展开。满足微分方程(3-61)~(3-64)及边值条件(3-65)、(3-66)的展开式的前几项是

同样可得ξ很小时满足微分方程组及其边值条件的展开式

常数A,B,a,b,α待定。即应这样选择常数,使F,G,H及其导数F′,G′连续。于是由方程组得知其余导数也是连续的。由数值积分得到下列常数

a=0.51, b=-0.62, α=0.89, A=0.93, B=1.21

压强分布自然亦可求出。

图3-18画出了F,G,H关于ξ的曲线。这些曲线是科克伦用数值积分精确计算的结果[21]

取近似展开式(3-69)的一级近似,并根据,可得vzz→∞时的近似表达式

取近似展开式(3-72)的一级近似,亦根据,得

近似表达式(3-73)、(3-74)在研究直拉法晶体生长的溶质分凝时很有用处,例如在第二章中关于旋转晶体下轴向流速的近似式(2-25)就是直接引用了式(3-74)。

上面关于vz的近似表达式(3-73)、(3-74)亦可直接从图3-18中得到。我们观察图中的H曲线,当ξ→∞,H趋于一渐近值,即H(∞)→-0.89,故当z→∞时,vz=-0.89νω。另一方面,当时,即ξ≪1时,Hξ的关系近于抛物线,故可得(3-74)式。现将旋转圆盘下的速度场示意地表示于图3-19。

图3-18 旋转圆盘附近的速度分布[21]

图3-19 旋转圆盘附近速度场示意图[5]