5-11　什么是二氯二氢硅？二氯二氢硅是怎样生产的？

二氯二氢硅又称为二氯硅烷，是一种高价值的电子工业用原料，主要应用在外延硅和多晶硅的生长及高性能太阳能光伏电池等领域中，其分子式是：SiH₂Cl₂。与其他几种硅源（四氯化硅、三氯氢硅和硅烷）相比，二氯二氢硅具有沉积温度较低、分子结构中硅氯键容易打开、便于控制、生长速率稳定和结晶质量好等优点。

工业上制备二氯二氢硅主要有氢化法、歧化法和氯化法三种工艺。

（1）氢化法　氢化法的原料有四氯化硅和三氯氢硅两种。

用三氯氢硅氢化制备二氯二氢硅通常与多晶同时进行，即主反应进行时，同时发生一些副反应，产生二氯二氢硅。其反应方程式如下：

主反应：

副反应：

（2）歧化法　歧化反应多在承载催化剂下进行。其反应方程式如下：

（3）氯化法　氯化法是一种用复合催化剂使单质硅与氯化氢反应制取二氯二氢硅的方法。其反应方程式如下：