更新时间：2019-12-20 17:39:03
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版权信息
前言
第一章 MEMS概论
1.1 MEMS的定义
1.2 MEMS的基础理论
1.3 MEMS的制造技术
1.4 MEMS技术的应用
1.5 MEMS的发展前景
习题
参考文献
第二章 机械微传感器的应用
2.1 位移微传感器
2.2 速度和流速微传感器
2.3 微型加速度计
2.4 力、压强和应变微传感器
2.5 质量微传感器
第三章 热微传感器的应用
3.1 热机械传感器
3.2 热敏电阻
3.3 热二极管
3.4 热晶体管
3.5 热电偶
3.6 其他电测量热微传感器
3.7 其他非电测量热微传感器
第四章 磁微传感器的应用
4.1 霍尔效应器件
4.2 磁阻效应器件
4.3 磁敏二极管和磁敏三极管
4.4 磁通门微磁强计
4.5 隧道效应磁强计
4.6 超导量子干涉磁强计
第五章 光学微传感器与辐射微传感器应用
5.1 光学微传感器
5.2 辐射微传感器
第六章 化学微传感器与生物微传感器的应用
6.1 化学微传感器
6.2 生物微传感器
第七章 声波微传感器的应用
7.1 声波微传感器概述
7.2 体声波微传感器
7.3 表面声波微传感器
第八章 微纳传感器应用实例
8.1 基于手势识别的多功能电子钥匙
8.2 基于地磁传感器的数字指南针
8.3 新型宠物伴侣
8.4 电子便携导盲棒
8.5 多功能水蒸发器
附录A 美新产品
A.1 美新加速度传感器
A.2 美新磁传感器——MMC212xMG
A.3 美新流量传感器——MFC001
附录B 敏芯产品
B.1 敏芯微电子压力传感器——MSPA15A
B.2 敏芯微电子硅麦克风声学传感器——MSMAS42Z
附录C 微电子学常用词及缩略语
